什么是真空等离子体真空等离子体分为:1、直流等离子体这个的优点:技术简单,造价低。缺点:电极材料损伤。存在电弧放电。等离子体密度不易调节。2、射频等离子体CCP-电容耦合方式面积大有电极污染3、微波等离子体石英管式石英钟罩式不锈钢腔体式大面积线形(表面波式)2,射频等离子体是做什么用的射频是指无线电频率,但它不属于无线电通信中波段的划分,因为在这样的频率范围内辐射性能很低,故通讯设备中较少采用,面对生物体的作用主要是热效应。当射频的电流频率高到一定值时(>100kHz),引起组织内带电荷的离子运...
更新时间:2023-01-24标签: 射频等离子体是什么射频等离子等离子体 全文阅读